双室油淬气冷真空炉克服了硅烟气在高温真空状态下容易与碳纤维发生反应，而碳纤维制成的保温套失去了保温效果的问题，炉体由外到内设有炉套和隔热套，炉体与炉套之间设有保温层。

　　绝缘套管内外表面均设有石墨衬套，使绝缘套管不直接面对硅粉气体，烧结材料支撑架与石墨衬套固定连接，防止烧结材料支撑架通过分离器，有效保护绝缘套管，防止其绝缘效果丧失。

　　随着改进，石墨套、烧结材料和电热体表面涂有0.3-0.8mm厚的氮化硼，石墨套的作用是为烧结材料提供支撑，隔热罩去除硅，但在高温真空条件下，硅和石墨也能发生反应，氮化硼层是防止气体和硅石墨进一步反应的。

　　烧结材料支撑架和电热体可延长构件的使用寿命，作为进一步改进，空气泵可在炉体外提供循环冷却介质，空气泵连接至保温材料，以上所述希望可以给大家带来帮助。